nanášení povlaků technologií pvd, pacvd a cvd
Povlakovací centrum disponuje všemi 3 technologiemi povlakování: CVD, PACVD a PVD.
Zkratka | Název technologie | Povlakovací teplota | Zařízení |
CVD | Chemická depozice z plynné fáze (Chemical Vapour Deposition) |
900 - 1100 °C | CVD jednotka |
PACVD | Chemická depozice vrstev za asistence plazmatu (Plasma Asisted Chemical Vapour Deposition) |
450 - 550 °C | Ruebig |
PVD | Fyzikální depozice z plynné fáze (Physical Vapour Deposition) |
180 - 550 °C | Hauzer Fx 850 Hauzer Fx 1200 |
Široká škála nanášených povlaků v tloušťkách 1 - 15 µm je uvedena v následující tabulce.
Specifikace jednotlivých technologií povlakování
CVD
- teplota nanášení 900 - 1000 °C
- tloušťka povlaku 10-15 µm
- tvrdost 2000 HV
- kalení a popouštění po povlakování
Výhody:
- povlakování dutin
- povlakování průchozích a neprůchozích otvorů o velké štíhlosti
- pro vysoce výkonné nástroje s vysokými nároky na abrazivní odolnost
Nevýhody:
- nutno zušlechťovat ocelové nástroje až po povlakování
PACVD
- povlakovací teplota 450 - 550 °C
- max. tloušťka povlaku 4 µm
- tvrdost 2000 - 2600 HV
- konečné tepelné zpracování před povlakováním
- plazmová nitridace
Výhody:
- povlakování dutin
- povlakování průchozích a neprůchozích otvorů o velké štíhlosti
- vysoká odolnost proti nalepování barevných kovů a plastů
- zvýšení odolnosti proti tepelné únavě
Nevýhody:
- pro některé nástrojové oceli stále vysoká teplota povlakování
- omezené množství typů povlaků
PVD
- Povlakovací teplota 180 - 550 °C
- max. tloušťka povlaku 6 µm
- tvrdost 1500 - 4000 HV
- konečné tepelné zpracování před povlakováním
- plazmová nitridace
Výhody:
- možnost nanášet povlaky i při velmi nízkých povlakovacích teplotách (malé tepelné ovlivnění základního materiálu nástroje)
- DLC (Diamond Like Carbon) povlaky s nízkým koeficientem tření
Nevýhody:
- nelze povlakovat díry a štěrbiny